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    ÏìӦƵÂÊ 300KHz
    ´Å¼ä¾à 2mm
    ·Ö±æÂÊ 1000 - 500 - 100 - 50 -25 - 10 - 5- 1 μm
    ¾«È·¶È ± 15 μm
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